Τα επιθέματα στίλβωσης είναι τα βασικά εξαρτήματα που καθορίζουν την ποιότητα της επιφάνειας των γκοφρετών στη διαδικασία χημικής μηχανικής στίλβωσης (CMP). Αποτελούνται κυρίως από υλικά όπως ο αφρός πολυουρεθάνης, που έχουν πορώδη μικροδομή και υψηλή αντοχή στη φθορά. Οι βασικές λειτουργίες του περιλαμβάνουν ομοιόμορφη μεταφορά πίεσης, αποθήκευση υγρού στίλβωσης και αφαίρεση υπολειμμάτων αντίδρασης. Προσαρμόζοντας τη σκληρότητα, μπορεί να βελτιστοποιηθεί η-ομοιομορφία στο καλούπι (WID) και η-ομοιομορφία στο τσιπ της γκοφρέτας, αντίστοιχα. Ο σχεδιασμός του σχεδίου αυλάκωσης επηρεάζει άμεσα την απόδοση κατανομής του γυαλιστικού υγρού. Το ακτινωτό αυλάκι βελτιώνει τον ρυθμό αφαίρεσης υλικού, ενώ το αυλάκι δακτυλίου βελτιστοποιεί το φινίρισμα της επιφάνειας.
Η απόδοση του μαξιλαριού γυαλίσματος καθορίζεται από 7 βασικούς δείκτες:
1.Πυκνότητα: Επηρεάζει τον βαθμό παραμόρφωσης
2.Σκληρότητα: Ρυθμίζει την απόδοση λείανσης
3. Πάχος: καθορίζει την ομοιομορφία της πίεσης
4. Σχέδιο αυλάκωσης: βελτιστοποίηση της διανομής υγρού
5. Παράμετροι Groove: το πλάτος/βάθος επηρεάζει την ικανότητα αποθήκευσης
6. Προδιαγραφές εξωτερικής διαμέτρου: πρέπει να προσαρμοστούν στο μέγεθος του εξοπλισμού
Σύνθεση και δομή γυαλίσματος πολυουρεθάνης
Τα επιθέματα γυαλίσματος πολυουρεθάνης συνήθως χρησιμοποιούν-πολυουρεθάνη υψηλής απόδοσης ως κύριο υλικό. Η πολυουρεθάνη είναι ένα είδος υψηλού μοριακού πολυμερούς με καλή ελαστικότητα, αντοχή στη φθορά και χημική σταθερότητα.
Η δομή του περιλαμβάνει γενικά ένα στρώμα στίλβωσης και ένα στρώμα στήριξης. Το στρώμα στίλβωσης βρίσκεται σε άμεση επαφή με το γυαλισμένο υλικό και πρέπει να έχει κατάλληλα χαρακτηριστικά σκληρότητας, τραχύτητας και πορώδους για να επιτευχθεί αποτελεσματικό γυαλιστικό αποτέλεσμα. το στρώμα υποστήριξης παίζει κυρίως τον ρόλο στήριξης και στερέωσης του στρώματος στίλβωσης, ενώ βοηθά στη μετάδοση της πίεσης στίλβωσης και στη διατήρηση της συνολικής σταθερότητας του γυαλιστικού μαξιλαριού.
Χαρακτηριστικά απόδοσης επιθεμάτων γυαλίσματος πολυουρεθάνης
Υψηλή ελαστικότητα: μπορεί να ταιριάξει καλύτερα στην επιφάνεια του γυαλισμένου αντικειμένου και ακόμη και σύνθετες καμπύλες επιφάνειες μπορούν να γυαλιστούν ομοιόμορφα, μειώνοντας την τοπική πίεση που είναι πολύ μεγάλη ή πολύ μικρή κατά τη διαδικασία στίλβωσης CMP, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα στίλβωσης.
Υψηλή αντοχή στη φθορά: Κατά τη διάρκεια της μακροπρόθεσμης-διεργασίας γυαλίσματος, μπορεί να διατηρήσει το δικό του σχήμα και απόδοση και δεν φοριέται εύκολα, γεγονός που παρατείνει τη διάρκεια ζωής του γυαλίσματος και μειώνει το κόστος χρήσης.
Υψηλή επιπεδότητα: Μπορεί να διασφαλίσει την επιπεδότητα της γυαλισμένης επιφάνειας, η οποία είναι απαραίτητη για την επεξεργασία οπτικών εξαρτημάτων υψηλής-ακρίβειας, τσιπ ημιαγωγών κ.λπ., και μπορεί να ικανοποιήσει τις αυστηρές απαιτήσεις για ακρίβεια επιφάνειας σε αυτά τα πεδία.
Υψηλή σταθερότητα: Κάτω από διαφορετικές περιβαλλοντικές συνθήκες (όπως αλλαγές θερμοκρασίας και υγρασίας, κ.λπ.), το επίθεμα γυαλίσματος πολυουρεθάνης μπορεί να διατηρήσει τη σταθερότητα της απόδοσής του και να εξασφαλίσει τη συνοχή του γυαλιστικού αποτελέσματος.